Ingegneria delle Nanotecnologie - Nanotechnology Engineering

Il modulo fornisce allo studente un adeguato supporto formativo per quanto riguarda le tecniche di caratterizzazione di componenti nanoelettronici, con particolare riferimento ai metodi utilizzati nella produzione industriale di circuiti integrati, sia per esigenze R&D che di processi di produzione. Saranno presentati metodi di caratterizzazione basati sulla microscopia elettronica con valutazioni di tipo fisico-chimico ed elettrico. In particolare il corso ha l’obiettivo di presentare le correlazioni tra risultati sperimentali e processo di produzione.